睿龙作为一家有实力的反向技术研究公司,长期从事PCB抄板、反向解析、芯片解密、样机仿制克隆、样机制作、样机调试等领域的工作,在医疗设备、机械设备、自动化设备、广电设备、通信设备、仪器仪表设备、环保设备、印刷设备、家电设备、交通设备等领域成功完成了众多项目,深得客户的一致好评。半自动生化分析仪是睿龙在自动化设备领域的一个成功案例。
主要技术特点
※ 对准精度高,漂移小。精密楔形误差补偿机构实现找平,找平力小,延长掩模版使用寿命。 Z向采用空气轴承导向,气动驱动,实现了找平与分离的自动控制。在X、Y方面可进行大范围扫描观察。
※ 采用柱体蝇眼透镜和高能力集光的椭球反射镜等精密光学件,具有较高的光强、均匀性、光学分辨率。
※ 可进行单视场或双视场切换,提高对准效率和套准精度,同时兼容CCD成像显示功能。
※ 电气控制采用可编程控制器(PLC)、LCD显示屏,操作方便,汞灯电源易于触发,可靠性高。该设备的关键件采用进口或专业厂家制造,气动元件采用SMC的产品,提高了设备的稳定性、可靠性,同时提供个性化服务。
主要技术指标
□ 工作台行程:
X/Y:±5mm(粗动)±0.1mm(微动)
θ:±5° 扫描范围:30mm×30mm
Z向行程:24mm
□ 掩模尺寸:Max5″×5″
□ 基片尺寸:Maxφ4″
□ 基片与掩模微分离间隙:0~0.05mm
□ 曝光系统: 采用350W超高压汞灯
□ 曝光分辨率:1.5um(真空接触)
□ 曝光时间:0~999s连续可调
□ 曝光面积:φ110mm
□ 曝光不均匀性:±4%
□ 分离视场显微镜
总倍率:100×(50× 可选)
调焦范围:8mm
物镜分离距离:28~90mm
□ 所需设施:
输入电压: ~220V±22V 50Hz±1Hz
整机功率: 1.0kW
压缩空气; 0.5~0.7MPa
氮气:0.2~0.4MPa
真空:-0.08~-0.1MPa
□ 体积及重量:
外形尺寸: 950mm×1000mm×1520mm
重量:400kg
注:睿龙现诚挚对外转让其相关案例的全套技术资料并寻求项目合作,欢迎来电来访咨询、洽谈!