睿龙作为一家有实力的反向技术研究公司,长期从事PCB抄板、反向解析、芯片解密、样机仿制克隆、样机制作、样机调试等领域的工作,在医疗设备、机械设备、自动化设备、广电设备、通信设备、仪器仪表设备、环保设备、印刷设备、家电设备、交通设备等领域成功完成了众多项目,深得客户的一致好评。半自动生化分析仪是睿龙在自动化设备领域的一个成功案例。
半导体晶圆激光蚀刻机
设备性能
1.设备由五大部分组成:激光部分、伺服系统及机械臂自动上下料部分、除尘系统、电气控制系统
2.工艺过程全自动,激光功率自动调节,保证晶圆表面金属膜清除干净又不会导致晶圆暗裂纹
3.有精确定位扫描系统及软件控制系统。软件系统能识别JPEG格式图像文件,或能直接将JPEG格式图像文件进行转换后刻蚀图形,雕刻范围可以在标准雕刻范围内可以任意调整且工作稳定
4.人机界面为触摸屏,方便直观;手动自动操作可相互转换
5.可以刻蚀金属及大多数非金属。刻蚀深度1次>0.02mm
6.刻蚀晶圆尺寸4″6″8″12″
主要技术参数
最大激光功率:50W
激光波长:532nm
激光重复频率:200KHZ
雕刻深度:<0.3mm
雕刻速度:<7000mm/s
注:睿龙现诚挚对外转让其相关案例的全套技术资料并寻求项目合作,欢迎来电来访咨询、洽谈!